3月初,大連東軟信息學院與微納制造領域領軍企業青島天仁微納科技有限責任公司共建的天仁微納技術聯合實驗室正式啟用。實驗室位于軟件園校區A2座109a室,作為東北地區首個致力于納米壓印技術研究與人才培養的產教融合創新平臺,采用“產業級設備+教學級場景”的協同創新模式,標志著大連東軟信息學院為半導體產業變革注入教育新動能。
青島天仁微納科技捐贈的納米壓印設備,采用了光刻工藝的革命性突破技術——新一代納米壓印技術,為第三代半導體、柔性電子等前沿領域提供顛覆性解決方案,具備三大顯著優勢:一是精度革命,突破光學衍射極限,實現5nm以下制程精度;二是效能躍升,降低70%以上工藝能耗;三是效率提升:單次轉印效率提升300%。
此次雙方共建聯合實驗室,有力支撐了《半導體制造工藝實踐》《微機電系統》《微納制造技術與設備》《微電子技術綜合實訓》實驗實踐項目教學;深化“產、學、研”合作,將企業產線設備轉化為教學儀器,實現了實踐教學場景升級;打造“教學實驗→技術研發→小批量生產”的全鏈條生態,持續向國內龍頭企業培養、輸送高端技術人才,助力中國半導體產業突破卡脖子困局。