一、實驗室簡介
遼寧省微電子工藝控制重點實驗室是依托渤海大學由遼寧省科技廳2010年8月批準組建的省級重點實驗室。該實驗室建筑面積1000多平方米，設備總值1000余萬元，其中萬元以上儀器設備30余臺。本實驗室以微電子工藝為基礎，以計算機技術、自動控制技術、信息檢測與處理技術、通信技術、電子信息技術等交叉學科為依托，立足微電子工藝過程的應用技術研究，并與基礎研究有機結合，形成一個集科技開發、人才培養、產業化為一體的現代化實驗室。該重點實驗室通過整合凝練出三個研究方向，分別為：微電子工藝建模與仿真、微電子工藝過程與參數優化、微電子工藝先進控制策略。
二、主要研究內容
1、微電子工藝建模與仿真。該研究方向主要研究擴散工藝、離子注入、Sio2掩膜生長、刻蝕、合金工藝等的數據驅動建模方法和計算機仿真系統實現。
2、微電子工藝過程與參數優化。該研究方向主要研究微電子工藝過程優化和微電子工藝參數優化。力求采用數據挖掘技術、最優化方法實施微電子工藝過程與參數優化。如為了提高太陽能電池的效率，優化其工藝參數。
3、微電子工藝先進控制策略。該研究方向包括微電子動態工藝控制和計算機視覺在線檢測。在微電子工藝過程中，研究動態先進控制策略，對工藝條件動態實時調整，獲得更好的工藝合格率。研究太陽能電池晶片的在線視覺測量關鍵技術。
三、人員結構及隊伍
本實驗室擁有一支學術梯隊合理、技術水平較高的科研隊伍，實驗室成員學歷和職稱較高，現有博士21人、碩士6人，高級職稱24人，中級職稱5人。遼寧省教學名師1人、遼寧省百千萬人才千人層次1人、遼寧省高校青年骨干教師1人、渤海大學學術骨干5人、渤海大學教學骨干3人。
四、承擔主要科研項目
近五年來在國內外權威學術期刊和重要國際會議上，發表有價值的研究論文200余篇，被SCI、EI和ISTP檢索100余篇。承擔科研項目80余項，其中主持與參與國家自然科學基金10余項，主持省部級項目40余項，橫向課題30余項。獲省部級以上獎勵2項、其它科研獎勵20項。
五、聯系方式
通訊地址：
遼寧省錦州市松山新區科技路19號渤海大學新能源學院
郵編：121013
電話：0416-3400708
電子郵箱：bdxnyxy@163.com
