實驗室簡介
依托于西安工業大學的“陜西省薄膜技術與光學檢測重點實驗室”成立于1999年，在上級和學校的支持下，實驗室整體實力不斷增強，成為西北地區高校光學工程學科領域條件最好的實驗室之一。以省級重點實驗室為基礎，又拓展了“陜西省薄膜技術與微光電器件軍民兩用技術工程中心”和國家光電子成果轉化及產業化基地“光電薄膜與器件研發服務中心”兩個省級重點科研基地。
實驗室含光學工藝、光學檢測、薄膜技術、微光電器件制造與檢測等實驗室，擁有光學零件加工與檢測、光學薄膜制造與檢測、微光電器件制造與檢測等研究領域的關鍵技術裝備，設備總值3000余萬元，是光學工程及相關專業的教學、科研實踐基地。光學工藝實驗室曾被評為“全國高校先進實驗室”。
主要研究方向簡介
實驗室主要研究方向：薄膜與等離子體技術、光學制造與檢測技術、微光電器件制造技術及應用。
薄膜與等離子體技術研究方向的主要研究內容包括：
可見、紅外高效高強寬帶減反膜；
高反膜器件制造技術；高性能窄帶濾波片；
抗激光薄膜的制造技術；
寬束冷陰極離子源、脈沖真空電弧離子源系列化；
類金剛石薄膜的制造與應用技術；
超硬薄膜制造技術；
高精度薄膜厚度實時控制技術；(非)平衡磁控濺射技術與設備；
脈沖真空等離子體鍍膜技術與設備；
離子束濺射技術與設備。
Ø 光學制造與檢測技術研究方向的主要研究內容包括：
球面、非球面光學表面數控銑磨技術；
超光滑光學表面磁流體拋光技術；
超光滑表面等離子體拋光技術；
球面、非球面光學表面柔性拋光技術與設備；
非球面與復雜表面光學元件測試技術與設備；
薄膜參數的精密測試技術與設備。
微光電器件制造技術及應用研究方向的主要研究內容包括：
常溫熱成像材料與器件制造、檢測、應用技術；
多功能傳感器集成制造技術；
納米材料與器件；
低維聚合物制備與改性；
MEMS與MOEMS工藝技術及其應用。
