實驗室于2002年1月經教育部（教技函[2002]1號）正式批準成立。本實驗室所屬學科“儀器科學與技術”是博士學位一級授權學科，且下屬“測試計量技術及儀器”和“精密儀器及機械”兩個博士學位二級授權學科。實驗室現建筑總面積6000平方米，固定資產7060萬元，儀器設備總值4500萬元，固定人員48人。
實驗室主任
張文棟：1962年9月出生，男，教授，清華大學出站博士后，博士生導師，儀器科學與動態測試教育部重點實驗室主任，總裝備部科技委兼職委員，中國兵工學會副理事長，中國微米納米技術學會常務理事，總裝備部微米/納米專家組副組長。國家杰出青年基金獲得者，1997年被國務院授予“有突出貢獻的中青年專家”，同年獲“第5屆中國青年科技獎”，1998年獲“全國五一勞動獎章”。2004年入選新世紀百千萬人才工程國家級人選， 2005年獲得“全國先進工作者”稱號。曾獲國家發明二等獎2項，國家發明三等獎1項，省科技進步獎13項、發明專利3項、發表學術論文190余篇（SCI、EI收錄80余篇），出版了專著3部，譯著一部。
實驗室學術委員會主任
方家熊： 男，1939年10月出生，光傳感技術專家，中國科學院上海技術物理研究所研究員。安徽黃山市人。1962年畢業于南京大學物理系，1966年中國科學院研究生畢業。2001年當選為中國工程院院士。著有衛星用長波HgCdTe探測器的研究等論文報告100多篇，參加撰寫專著2部，獲得六個國家科技獎。
實驗室常務副主任
劉?。耗?，1968年9月生，教授，博士生導師，北京大學出站博士后，儀器科學與動態測試教育部重點實驗室常務副主任，中國兵工學會測試技術專業委員會秘書長。目前擔任國家自然基金委評審專家，國家科技部國際合作科技計劃評審專家，教育部學位與研究生發展中心評議專家，總裝備部慣性技術專業組專家。全國百千萬人才計劃入選者，新世紀學術技術帶頭人333人才工程人選，國務院政府津貼和全國“五一勞動獎章”獲得者。獲得國家發明二等獎一項，省部級一、二等獎13項，發表學術論文87篇，SCI、EI收錄40多篇。
實驗室副主任
薛晨陽，男， 1971年11月生，山西人，博士，教授，博士導師。 1997年在山西大學光電研究所，獲量子光學及激光技術專業碩士學位；2003年在希臘雅典國立科技大學物理系，獲得半導體材料專業博士學位，德國柏林工業大學、英國牛津大學訪問學者。回國后在中北大學儀器科學與動態測試教育部重點實驗室從事研究工作，聘為重點實驗室副主任。被評為山西省高校青年學科帶頭人，教育部世紀優秀人才，山西省高校拔尖人才。
